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球杆仪

具有操作简单、携带方便的特点，其工作原理是将球杆仪的两端分别安装在机床的主轴与工作台上(或者安装在车床的主轴与刀塔上)，测量两轴插补运动形成的圆形轨迹，并将这一轨迹与标准圆形轨迹进行比较，从而评价机床产生误差的种类和幅值。

基本介绍“干涉测量法”是一种利用波的干涉现象（常见的波有光波，无线电波或声波）进行测量的一种方法。测量可能涉及对波本身的某些特性以及与波相互作用的材料的测量。此外，“干涉测量法”用于描述通过光波研究位移变化的技术。但氮化硅在钢材表面扫描时却具有很显著的磨擦磨损特性，因此其应用限制在铝质工件上。在精密加工中广泛采用这一位移干涉测量法来校准和控制机械台运动。

球杆仪既可检测机床的几何误差，也可通过从冷态到热态多次检测进行热误差的检测。本文主要讨论机床热误差的微位移球杆仪检测法。

球杆仪作为一种高精密的测量仪器。影响其检测精度的系统因素如下： 1.金属球的球度和球座的圆度。球杆仪两端的金属球一般是由轴承钢制成的，直径一般为25.4mm。这两个金属球的精度非常高，球度误差小于0.05μm。干涉测量法说明通过使用两束光（通常将一束光分为两束光），可在其叠加时形成干涉图。球座的圆度误差要求小于0.1μm。 2.线性位移传感器的测量精度。